沃飞科技（集团）有限公司成立于2011年，公司注册资金2180万，2022年旗下珠海分公司成立，专注致力于从事气体系统工程设计安装、技术服务咨询和配套研发+销售为一体的国家高新技术企业：为客户提供GC2压力管道设计安装、特殊气体系统、实验室供气系统、工业集中供气系统、洁净气体管道、高性能和高质量的解决方案。本公司产品广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术领域，公司拥有专业的各类设计、研发、工程及生产施工人员技术人员主要配套产品有减压阀，卡套接头，阀门管件，管道系统安装、球阀针阀、VCR接头、焊接接头、阻火器、过滤器、气体管道系统、高纯管道系统、不锈钢洁净管等产品,。。

特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2易燃易爆的气体、有毒的气体、有腐蚀性的气体、纯度特别高(超过99.999%一些具有高风险的特殊气体应安全储存、用于输送和分配过程的设备、特种气体系统工程是用来实现特种气体系统的安全使用的管道和部件的总称。该公司从气体供应系统提供气体;排气处理、监控系统集成管理系统;建立安全第一的专用气体管理和运输系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试系统托管服务等整体解决方案。

特种气体管道系统包括储存、输送、分配、控制四类设备的组成。其中“存储”指气源部分(特气柜GC)，“输送”指配管部分(一般用双套管)，“分配”指二次配部分(气体分配柜VMB)，“控制”指监督控制部分(气体管理系统GMS)

特气管道系统特点

特殊纯净气体供应系统中的每台设备都配有PLC控制、彩色触摸屏操作与温度、压力、烟雾、泄漏监测和报警，并可扩展到地震监测和报警;单个设备可以作为单个系统独立运行，也可以通过PLC或TGO将多个设备连接起来组成一个大系统，在一个监控中心统一监控管理，其报警系统也可以与安全监管系统连接、消防系统对接。

电子的特殊气体是光电子、微电子等领域，尤其是VLSI、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料是制造过程中不可缺少的基础支撑源材料。它的纯度和清洁度直接影响光电子、微电子元件的质量、集成度、具体的技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精度和准确度。适合场合芯片半导体、微电子企业、光伏太阳能、生物制药、新材料等行业经常使用溅射真空镀膜、沉积刻蚀、钝化清洗等设备